ALD原子層沉積,分子延長等需要高濃度臭氧發生器，本文推薦2款臭氧發生器和臭氧檢測儀。

一、加拿大 Atlas H30

 Atlas H30高濃度臭氧發生器，臭氧濃度超過200mg/L，臭氧檢測儀為3S-J5000，量程為0-400mg/L。

二、德國BMT

臭氧管路 O3 選件包括使用臭氧氣體的所有部件。它完全集成到 TFS 200 電氣和軟件系統中。

• 臭氧發生器 803N（BMT Messtechnik GmbH），
  臭氧產量為 8 g/h
• 包括壓力調節器、轉子流量計、氣動脈沖閥、帶 VCR（?世偉洛克）接頭的不銹鋼管、
  
  流量調節出口和臭氧破壞器
• 與 TFS 200 電氣柜集成，用于供電
• 帶通風連接的臭氧柜

請注意，Beneq 要求將氣體檢測和報警系統與有害氣體結合使用（探測器可從 Beneq 單獨購買）。

臭氧分析儀

臭氧分析儀用于測量臭氧濃度。該產品由BMT Messtechnik GmbH制造。

• 帶 VCR? 的不銹鋼和 PFA 管 – 以及世偉洛克接頭
• 集成到 TFS 200 電氣柜和控制系統中